真空系統(tǒng)要求獲得并保持真空狀態(tài)，如果存在嚴(yán)重的漏氣則是系統(tǒng)的重大缺陷，那么就需要進(jìn)行相關(guān)的真空檢漏。

透氣和漏氣的本質(zhì)不同。透氣是氣體從密度大的一側(cè)向密度小的一側(cè)滲入、擴(kuò)散、通過(guò)和逸出的過(guò)程，任何材料都有一定的滲透率。漏氣是由于材料本身的缺陷或封口部**，導(dǎo)致氣體分子從高壓側(cè)流向低壓側(cè)的現(xiàn)象。還有一種情況是常溫下不發(fā)生漏氣，但溫度變化時(shí)由熱膨脹系數(shù)的差異也可能導(dǎo)致漏氣。圖1是影響系統(tǒng)真空度的氣體來(lái)源示意圖。

圖1 影響系統(tǒng)真空度的氣體來(lái)源示意圖

嚴(yán)格地講，任何真空系統(tǒng)都有漏氣現(xiàn)象存在，漏氣是**的。針對(duì)不同的真空系統(tǒng)，可以容許有一定的漏率。目前的真空技術(shù)，可以確保超高真空系統(tǒng)的容許漏率≤1.33×10 ^-11 Pa.m³/s。

真空檢漏已經(jīng)成為真空系統(tǒng)制作和使用中不可缺少的環(huán)節(jié)。真空檢漏的方法多種多樣，*具代表性的氦質(zhì)譜檢漏和四極質(zhì)譜儀殘留氣體分析。